フォトリソグラフィ

光とフォトレジストを用いて、集積回路やプリント配線板などの微細なパターンを加工する技術のことをいう。

もう少し詳しく

フォトレジストと呼ばれる感光性材料にパターンを露光し、現像によって不要な部分を取り除くことで微細加工をおこなう。露光には紫外線や遠紫外線が使われ、半導体や電子部品の基板製造に広く用いられている。

関連語

フォトレジスト／フォトエッチング／ドライフィルムレジスト／フォトファブリケーション

参考

JFPI／Wikipedia